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电子工业中VOCs排放特征

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电子工业中VOCs排放特征

发布日期:2019-03-28 作者: 点击:

       1、电子行业分类

电子产品产业链可分为上、中、下三个层次:蕞上面的层次是电子整机产品即电子终端产品,例如雷达、通信、广播电视、计算机、视听等设备,它们的用户是国民经济的各个领域和千家万户的老百姓;中问层次是成百上千种的电子基础产品,包括电子元件、半导体器件、电子真空器件、光电子器件等,它们经过组合装配便形成了各种电子终端产品;下面的层次是支撑着电子终端产品组装和电子基础产品生产的电子专用材料等,它们是电子基础产品的基础。因此,电子工业一般可分为电子专用材料,半导体器件,电子元件及印制电路板,电真空器件、平板显示器件、光电子器件,电子终端产品几个方面。


工业废气治理


2、电子工业废气VOCs产生环节及污染物类型

VOCs排放涉及涂装行业、农药医药、石油化工行业、涂料油墨染料生产、家具制造业、印刷业、干洗业、电子工业、合成革与人造革等行业。典型电子工业废气VOCs产生环节及主要污染物情况见表1。

废气处理设备,工业废气处理,废气处理

电子工业中的VOCs种类常见的有30多种,主要来自半导体器件、电子元器件、电子组件、平板显示器、整机机壳的表面涂层工艺使用溶剂型涂料、清洗工艺(包括芯征清洗、玻璃基板清洗、电路板清洗、电子组件清洗等)使用有机脱脂剂、脱水剂,感光成像工艺中的光刻胶稀释剂、显影剂、脱胶剂、液态阻焊膜剂、去膜剂等使用有机溶剂,去光刻胶类化合物如DMSO、MEA、NMP、DMAC、DGA则属于高沸点的硫类和胺类之有机溶剂。在日本电机、电子行业VOCs排放量排名位居前二十名的物质群依次是异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿。

3、电子工业废气VOCs排放主要特点

电子工业是VOCs排放的主要行业之一,电子工业废气VOCs排放种类多,组分复杂。一般来说,废气排放中风量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。排放VOCs废气中还含有酸性气体、碱性气体和一些有毒气体。


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关键词:车间粉尘处理,治理废气设备,工业粉尘处理设备

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